식각 공정(Etching)은 포토 공정(Photolithography)을 통해 wafer 위에 패터닝을 한 뒤…

이번 글에서는 제가 석사 과정 중에 포토 공정을 하면서 있었던…

제가 석사 과정 동안 노광장비인 Aligner 담당자를 맡으면서 이 장비에…

이번에는 Photolithography(포토 공정)에 대해 자세히 알아보겠습니다. 먼저 공정의 전체적인 순서를…

산화 공정(oxidation)은 웨이퍼(wafer) 위에 산화막(oxide)을 생성하기 위해 진행하는 공정입니다. 관련…