원래는 증착(Deposition)에 대해 쓰려고 했는데 세정공정에 대한 글을 먼저 쓰기로…

반도체인 Si는 부도체에 가까운 특성을 가집니다. 그래서 전기적 특성을 가지게…

박막 공정이라고도 하는 증착 공정(Deposition)은 웨이퍼 위에 얇고 균일한 박막(1㎛…

식각 공정(Etching)은 포토 공정(Photolithography)을 통해 wafer 위에 패터닝을 한 뒤…

이번 글에서는 제가 석사 과정 중에 포토 공정을 하면서 있었던…

제가 석사 과정 동안 노광장비인 Aligner 담당자를 맡으면서 이 장비에…