[반도체 계측] 보이지 않는 막의 두께를 재는 법: Ellipsometry와 Alpha step
반도체 칩을 만들 때 우리는 “5nm의 HfO2를 증착했다”고 말합니다. 하지만…
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[반도체 공정] 세정 공정 (Cleaning)
원래는 증착(Deposition)에 대해 쓰려고 했는데 세정공정에 대한 글을 먼저 쓰기로…
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[반도체 공정] 도핑 공정 (Doping)
반도체인 Si는 부도체에 가까운 특성을 가집니다. 그래서 전기적 특성을 가지게…
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[반도체 공정] 증착 공정 (Deposition)
박막 공정이라고도 하는 증착 공정(Deposition)은 웨이퍼 위에 얇고 균일한 박막(1㎛…
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[반도체 공정] 식각 공정 (Etching)
식각 공정(Etching)은 포토 공정(Photolithography)을 통해 wafer 위에 패터닝을 한 뒤…
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[Photolithography] 포토 공정 이슈 – PEB(Post-expose baking), Lift-off
이번 글에서는 제가 석사 과정 중에 포토 공정을 하면서 있었던…
